Autor:	Bart Smeets, Paul Aben, Friso Klinkhamer, Jean Philippe van Damme, Bart Paarhuis, Raaja Ganapathy Subramanian, Mohamed El Kodadi, Stefan Lichiardopol, Alberto Pirati, Peter Vanoppen, Wim de Boeij
Rok vydání:	2023
Zdroj:	Optical and EUV Nanolithography XXXVI.
DOI:	10.1117/12.2657952
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8c06189dcc1c7f02defe6bd46bd9581a https://doi.org/10.1117/12.2657952 Zobrazit plný text záznamu