Ultrahigh-Sensitivity Piezoelectric AlN MEMS Speakers Enabled by Analytical Expressions

Autor:	Chengze Liu, Menglun Zhang, Mingchao Sun, Linbing Xu, Yiming Lang, Shaobo Gong, Wei Pang
Rok vydání:	2022
Předmět:	Mechanical Engineering Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	Journal of Microelectromechanical Systems. 31:664-672
ISSN:	1941-0158 1057-7157
DOI:	10.1109/jmems.2022.3181666
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::760eda4307deca14fd5c72dbdf3b2d9e https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3181666 Zobrazit plný text záznamu