Planar hollow cathode sputtering with asymmetrical voltage supply

Autor:	I.A. Sorokin, D.V. Kolodko
Rok vydání:	2023
Předmět:	Condensed Matter Physics Instrumentation Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	Vacuum. 207:111570
ISSN:	0042-207X
DOI:	10.1016/j.vacuum.2022.111570
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::75d0402fa6ef8c1d3a0f0c3bbb1f36f9 https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111570 Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect