Fabrication of Ni–W Microgears Using LIGA Process

Autor:	Kohzo Tamada, Sho Amano, Kana Okamoto, Masaya Takeuchi, Akinobu Yamaguchi, Yuichi Utsumi, Tohru Yamasaki
Rok vydání:	2021
Předmět:	General Materials Science Instrumentation
Zdroj:	Sensors and Materials. 33:4455
ISSN:	2435-0869 0914-4935
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::70b274f427e8de98d37ef963ed0efa62 https://doi.org/10.18494/sam.2021.3712 Zobrazit plný text záznamu