Autor:	Hal Kusunose
Rok vydání:	2005
Předmět:	Materials science Phase (matter) Electronic engineering
Zdroj:	Handbook of Photomask Manufacturing Technology
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::69acb2027276dc2be9ec7e832ccd40cd https://doi.org/10.1201/9781420028782.ch26 Zobrazit plný text záznamu