Physical and electrical characterization of a silicon suboxide seed layer

Autor:	Seref Kalem
Rok vydání:	2023
Zdroj:	Oxide-based Materials and Devices XIV.
DOI:	10.1117/12.2662575
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6211834f6a1960e9132906620757f156 https://doi.org/10.1117/12.2662575 Zobrazit plný text záznamu