Autor:	Shoichi Yamauchi, Arisa Hara, Hidetami Yaegashi, Masatoshi Yamato, Sakurako Natori, Kenichi Oyama
Rok vydání:	2014
Předmět:	Materials science Polymers and Plastics Organic Chemistry Materials Chemistry Multiple patterning Electronic engineering Scaling Smoothing
Zdroj:	Journal of Photopolymer Science and Technology. 27:731-738
ISSN:	1349-6336 0914-9244
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5ae0554dd0dfc5b182181686d17d7b9a https://doi.org/10.2494/photopolymer.27.731 Zobrazit plný text záznamu