Selbstnachführendes Laserinterferometer für die Koordinatenmesstechnik (Tracking Laser Interferometer for Coordinate Metrology)

Autor:	Karin Kniel, Heinrich Schwenke, Klaus Wendt, Franz Dr. Wäldele, Frank Härtig, Christian Keck
Rok vydání:	2004
Předmět:	Interferometry Optics business.industry Computer science law Electrical and Electronic Engineering business Tracking (particle physics) Laser Instrumentation Coordinate metrology Die (integrated circuit) law.invention
Zdroj:	tm - Technisches Messen. 71:227-232
ISSN:	2196-7113 0171-8096
DOI:	10.1524/teme.71.4.227.30458
Popis:	Die Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten (KMG) kann durch die Integration eines selbstnachführenden Laserinterferometers deutlich verbessert werden. Das in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) entwickelte Verfahren verknüpft die Koordinaten jedes gemessenen Punktes des KMG mit einer hochgenauen interferometrischen Längeninformation. Die zentrale Komponente hierbei ist das ebenfalls in der PTB entwickelte selbstnachführende Laserinterferometer. Sein konstruktiver Aufbau ermöglicht hochgenaue Abstandsmessungen im Raum. Ergebnisse aus Simulationen und Messungen verifizieren das neue Verfahren.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::51b8840f3fa49e6c861aebfbe8c75622 https://doi.org/10.1524/teme.71.4.227.30458 Zobrazit plný text záznamu