On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles
Autor: | Jaroslav Jiruše, Miroslav Rudolf, J. Zlámal, Jolana Kološová, Tomáš Hrnčíř |
---|---|
Rok vydání: | 2015 |
Předmět: | |
Zdroj: | Microscopy and Microanalysis. 21:206-211 |
ISSN: | 1435-8115 1431-9276 |
DOI: | 10.1017/s1431927615013380 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |