A review on recent advances of chemical vapor deposition technique for monolayer transition metal dichalcogenides (MX2: Mo, W; S, Se, Te)
Autor: | F. Gonca Aras, Alp Yilmaz, H. Gunalp Tasdelen, Ayberk Ozden, Feridun Ay, Nihan Kosku Perkgoz, Aydan Yeltik |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materials Science in Semiconductor Processing. 148:106829 |
ISSN: | 1369-8001 |
DOI: | 10.1016/j.mssp.2022.106829 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |