A review on recent advances of chemical vapor deposition technique for monolayer transition metal dichalcogenides (MX2: Mo, W; S, Se, Te)

Autor: F. Gonca Aras, Alp Yilmaz, H. Gunalp Tasdelen, Ayberk Ozden, Feridun Ay, Nihan Kosku Perkgoz, Aydan Yeltik
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Materials Science in Semiconductor Processing. 148:106829
ISSN: 1369-8001
DOI: 10.1016/j.mssp.2022.106829
Databáze: OpenAIRE