Science and Technology of High Dielectric Constant Thin Films and Materials Integration for Application to High Frequency Devices

Autor:	O. Auciello, S. Saha, W. Fan, B. Kabius, S. K. Streiffer, D. Y. Kaufman, J. Im, P. Baumann
Rok vydání:	2005
Zdroj:	Electroceramic-Based MEMS ISBN: 9780387233109
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::301743c7be9e05f3d389d9abd9e0048a https://doi.org/10.1007/0-387-23319-9_11 Zobrazit plný text záznamu