Control of Metal‐Rich Growth for GaN/AlN Superlattice Fabrication on Face‐to‐Face‐Annealed Sputter‐Deposited AlN Templates
| Autor: | Naoya Mokutani, Momoko Deura, Shinichiro Mouri, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Hideto Miyake, Tsutomu Araki |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | physica status solidi (b). |
| ISSN: | 1521-3951 0370-1972 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Plný text