Etching of ZnO Films with Hexafluoroacetylacetone
Autor: | Toivo T. Kodas, Mark J. Hampden-Smith, Steven R. Droes |
---|---|
Rok vydání: | 1998 |
Předmět: | |
Zdroj: | Advanced Materials. 10:1129-1133 |
ISSN: | 1521-4095 0935-9648 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |