Manufacturing process for high aspect ratio metallic micro parts made by electroplating on partially conductive templates
Autor: | Volker Piotter, G. Finnah, Julia Lorenz, J. Hausselt, Jürgen Prokop, Robert Ruprecht |
---|---|
Rok vydání: | 2008 |
Předmět: | |
Zdroj: | Microsystem Technologies. 14:1669-1674 |
ISSN: | 1432-1858 0946-7076 |
DOI: | 10.1007/s00542-008-0570-y |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |