A Method to Determine the Initial Phosphorus and Boron Concentrations in Float-Zoned Polysilicon Rods

Autor:	H-D Chiou
Rok vydání:	2008
Předmět:	Float (project management) Materials science chemistry Phosphorus Metallurgy Inorganic chemistry chemistry.chemical_element Boron Rod
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::24451bcfcdefd2bae28e7ded22457613 https://doi.org/10.1520/stp32667s Zobrazit plný text záznamu