Investigation of the Chemical Composition of Films Deposited by the Electric-Arc Sputtering of Graphite and Titanium from Two Sources

Autor:	Z. M. Khamdokhov, Z. Ch. Margushev, Z. Kh. Kalazhokov, Kh. Kh. Kalazhokov, D. D. Levin
Rok vydání:	2022
Předmět:	Condensed Matter Physics Atomic and Molecular Physics and Optics Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Semiconductors. 56:411-415
ISSN:	1090-6479 1063-7826
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::21622a9c357002faf59a74ebf0043001 https://doi.org/10.1134/s1063782622130048 Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.