Autor:	Christophe Smeets, Guido Salmaso, Joe Carbone, Marcel Mastenbroek, Nico Benders, Roderik van Es, Roelof de Graaf
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Optical and EUV Nanolithography XXXV.
DOI:	10.1117/12.2614220
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::17509efb8af24bc7ba694922b79743a9 https://doi.org/10.1117/12.2614220 Zobrazit plný text záznamu