272 Consideration of a heat transfer analysis method in a horizontal boat for semiconductors
Autor: | Yoko Hozumi, Masami Amano |
---|---|
Rok vydání: | 2015 |
Předmět: | |
Zdroj: | The Proceedings of The Computational Mechanics Conference. :272-1 |
ISSN: | 2424-2799 |
DOI: | 10.1299/jsmecmd.2015.28._272-1_ |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |