The performance of the fourth generation of safe delivery source® (SDS®4) package on AIBT iPulsar high current implanter

Autor:	Ying Tang, Vito Nien, Keith Guan, Eric Tien, Shao-Yu Hu, Te-Min Wang, Cheng-Mao Chien, Brandon Ni
Rok vydání:	2022
Předmět:	Mechanics of Materials Mechanical Engineering General Materials Science Condensed Matter Physics
Zdroj:	MRS Advances. 7:1395-1397
ISSN:	2059-8521
DOI:	10.1557/s43580-022-00470-5
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::077bb923a19c798ae0a23f0743b31c9f https://doi.org/10.1557/s43580-022-00470-5 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink