Atomic layer deposition of yttrium iron garnet thin films

Autor:	M. Lammel, D. Scheffler, D. Pohl, P. Swekis, S. Reitzig, S. Piontek, H. Reichlova, R. Schlitz, K. Geishendorf, L. Siegl, B. Rellinghaus, L. M. Eng, K. Nielsch, S. T. B. Goennenwein, A. Thomas
Rok vydání:	2022
Předmět:	Physics and Astronomy (miscellaneous) General Materials Science
Zdroj:	Physical Review Materials. 6
ISSN:	2475-9953
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::067a64e9405a4ba665ae16f5d1a14c67 https://doi.org/10.1103/physrevmaterials.6.044411 Zobrazit plný text záznamu