MEMS-basierter piezoelektrischer Energiewandler (MEMS-based Piezoelectric Energy Converter)

Autor:	Gerald Dr. Eckstein, Helmut Seidel, Ingo Kühne
Rok vydání:	2007
Předmět:	Microelectromechanical systems Materials science business.industry Energy converter Optoelectronics Electrical and Electronic Engineering business Instrumentation Piezoelectricity
Zdroj:	teme. 74:629-635
ISSN:	2196-7113 0171-8096
DOI:	10.1524/teme.2007.74.12.629
Popis:	Im vorliegenden Beitrag wird ein neuer Ansatz eines MEMS-basierten (Micro-Electro-Mechanical System) piezoelektrischen Energiewandlers vorgestellt. Dieser MEMS-Generator basiert im Wesentlichen auf einer massebeaufschlagten piezoelektrischen Membran, die in der Lage ist, umgebende mechanische Vibrationen in elektrische Energie zu wandeln. Im Folgenden wird ein entsprechender MEMS-Entwurf präsentiert, wobei im Speziellen auf die Optimierung der geometrischen Anordnung des Bauteils eingegangen wird. Darüber hinaus demonstrieren erste Experimente die Funktionsweise des Energiewandlers. Elektrische Messungen zeigen Abhängigkeiten bezüglich elektrischer Last, Schichtstress in der Membran und Elektrodenstruktur. Der typische Frequenzgang eines piezoelektrischen Mikrogenerators wird ebenso vorgestellt.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::031a39f2b24a67cdcc3b8987ebe45c63 https://doi.org/10.1524/teme.2007.74.12.629 Zobrazit plný text záznamu