Ability of conventional DC magnetron sputtering to coat complex substrates
Autor: | Thomann, Anne-Lise, Vahlas, Constantin, L., Aloui, Amin-Chalhoub, Eliane, Caillard, Amael, Millon, Eric, Brault, Pascal, Gaillard, Mireille, Semmar, Nadjib, Boulmer-Leborgne, Chantal |
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Přispěvatelé: | Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre interuniversitaire de recherche et d'ingenierie des matériaux (CIRIMAT), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut de Chimie du CNRS (INC) |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2012 |
Předmět: | |
Zdroj: | 13th International Conference on Plasma Surface Engineering PSE 2012 13th International Conference on Plasma Surface Engineering PSE 2012, Sep 2012, Garmisch-Partenkirchen, Germany |
Popis: | International audience |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |