Ability of conventional DC magnetron sputtering to coat complex substrates

Autor:	Thomann, Anne-Lise, Vahlas, Constantin, L., Aloui, Amin-Chalhoub, Eliane, Caillard, Amael, Millon, Eric, Brault, Pascal, Gaillard, Mireille, Semmar, Nadjib, Boulmer-Leborgne, Chantal
Přispěvatelé:	Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre interuniversitaire de recherche et d'ingenierie des matériaux (CIRIMAT), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut de Chimie du CNRS (INC)
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2012
Předmět:	ComputingMilieux_MISCELLANEOUS [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials
Zdroj:	13th International Conference on Plasma Surface Engineering PSE 2012 13th International Conference on Plasma Surface Engineering PSE 2012, Sep 2012, Garmisch-Partenkirchen, Germany
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::fb24d6fc3c7a2bc55770dfcdfff2876e https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01288943 Zobrazit plný text záznamu