Deposition and etching of HMDSO/SF6 plasma polymerized thin films
| Autor: | Santana, R. G., Honda, R. Y., Algatti, M. A., Milton Kayama, Mota, R. P. |
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| Přispěvatelé: | Universidade Estadual Paulista (UNESP) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1997 |
| Zdroj: | Scopus Repositório Institucional da UNESP Universidade Estadual Paulista (UNESP) instacron:UNESP Scopus-Elsevier |
| Popis: | Made available in DSpace on 2022-04-28T18:54:22Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 1997-04-01 UNESP-Universidade Estadual Paulista Campus de Guaratinguetá, 12500-000 Guaratinguetá, SP UNESP-Universidade Estadual Paulista Campus de Guaratinguetá, 12500-000 Guaratinguetá, SP |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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