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Die grundlegenden Eigenschaften von Parallelplatten-Gleichstrom-Mikroentladungen wurden untersucht. Dieser Entladungstyp eignet sich aufgrund der wohldefinierten Geometrie hervorragend, um Skalierungsgesetzte sowie die Ähnlichkeit zu den Niederdruckentladungen zu untersuchen. Als Trägergas wurde Argon verwendet. Der Abstand der Elektroden wurde zwischen 0,5 und 2 mm variiert. Die räumliche und zeitliche Entwicklung der verschiedenen Entladungsmodi wurde mittels phasenaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie untersucht. Durch Absorptionsspektroskopie wurden absolute Dichten von metastabilen Atomen gemessen. Die untersuchten Skalierungsgesetze wurden für die Mikroentladungen verifiziert. Strom-Spannungs-Kennlinien zeigen den von den Niederdruckentladungen bekannten Verlauf. Townsend Koeffizienten wurden für verschiedene Gasdrücke gemessen. Strom-Spannungs-Oszillationen wurden durch ein Modell beschrieben und durchlaufen die Townsend-Entladung und die normale Glimmentladung. |
