Reversing tone of patterns on integrated circuit and nanoscale fabrication

Autor: Clevenger, L.A., Darnon, Maxime, D. Lisi, A., V. Nitta, S.
Přispěvatelé: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Clot, Marielle
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2012
Zdroj: Patent n° : US 8,183,694. 2012
Databáze: OpenAIRE