Study of gap states and photoelectrical propierties of a-SiC:H films deposited by PECVD in SiH4+CH4 gas mixtures
Autor: | Coscia, U., Ambrosone, G., Catalanotti, C., Demichelis, F., Giorgis, Fabrizio, Pirri, Candido, Tresso, Elena Maria, Rava, P. |
---|---|
Přispěvatelé: | Coscia, Ubaldo, Catalanotti, Sergio, Ambrosone, Giuseppina, Demichelis, F., F., Giorgi, C. F., Pirri, E., Tresso, P., Rava |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 1996 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |