Suppression of boron transient-enhanced diffusion In SiGe HBTs by a burried carbon layer
| Autor: | Jouan, S., Baudry, H., Dutartre, D., Fellous, C., Laurens, M., Lenoble, D., Marty, M., Monroy, A., Perrotin, A., Ribot, P., Vincent, G., Chantre, A. |
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| Přispěvatelé: | Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Clot, Marielle, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2001 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Transactions on Electron Devices, 2001, pp.Vol 48, n8, 2001 IEEE Transactions on Electron Devices, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2001, pp.Vol 48, n8, 2001 |
| ISSN: | 0018-9383 |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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