ALD applied to sensors, biosensors and membranes

Autor: Marichy, C., Bechelany, Mikhael
Přispěvatelé: Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces (LMI), Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-Université de Lyon-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut Européen des membranes (IEM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM)-Université Montpellier 2 - Sciences et Techniques (UM2)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Montpellier (UM)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2016
Předmět:
Zdroj: Techniques de l’ingénieur, Article / Réf : RE265 v1
Techniques de l’ingénieur, Article / Réf : RE265 v1, 2016
Popis: International audience; Performances of sensors, biosensors and membranes as well as their selectivity are dependent of the structuration, morphology and type of the used material. Atomic layer deposition (ALD) appears as a suitable synthesis technique due to its simplicity, reproducibility, the atomic scale precision of the deposited thickness and high homogeneity of the obtained films. This article deals with the use of ALD for fabricating sensors, biosensors and membranes and presents some achievements in sensing and separation. The advantages of the technique compared to common ones are highlighted using few examples taken from the literature.; Les performances des capteurs, biocapteurs et membranes ainsi que leurs sélectivités dépendent de la structuration, de la morphologie et de la nature des matériaux utilisés. La technique de dépôt par couche atomique ou ALD apparaît comme une technique de fabrication de choix du fait de sa simplicité, de sa reproductibilité, de l'homogénéité des dépôts obtenus, même sur des substrats très structurés, ainsi que de la possibilité de contrôle de leur épaisseur au niveau atomique. Cet article présente l'utilisation de l'ALD pour la fabrication de capteurs, biocapteurs et membranes avec les réalisations possibles en termes de détection et de séparation. L'avantage de cette technique par rapport à des approches plus conventionnelles est mise en évidence par quelques exemples choisis dans la littérature.
Databáze: OpenAIRE
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