Moisture diffusion in PECVD dielectrics characterized with three techniques under clean room conditions

Autor: Cartailler, V., Imbert, G., Rochat, N., Chaton, C., VO-THANH, D., Benoit, D., Duchamp, G., Fremont, H.
Přispěvatelé: FAVRE, Isabelle, Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (CEA-LETI), Université Grenoble Alpes (UGA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Ghent University Hospital, Ghent, Belgium, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2020
Předmět:
Zdroj: Thin Solid Films
Thin Solid Films, Elsevier, 2020
ISSN: 0040-6090
Popis: International audience
Databáze: OpenAIRE
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