Nettoyage de surfaces de grandes dimensions par laser à excimères

Autor: Sentis, M. L., Delaporte, Ph., Gastaud, M., Marine, W., Utéza, O., Sentis, M. L., Delaporte, Ph., Gastaud, M., Marine, W., Utéza, O.
Zdroj: Journal de Physique IV - Proceedings; September 2001, Vol. 11 Issue: 1 pPr7-127-Pr7-128, 1277122p
Abstrakt: Cet article présente une étude effectuée sur le nettoyage par ablation laser W de contaminants fixés à la surface de matériaux et sur le développement de systèmes laser permettant le traitement automatisé de grandes surfaces. Les conditions d'irradiation permettant la suppression des oxydes par ablation laser UV et garantissant l'innocuité du procédé ont été définies. Le dispositif de nettoyage est constihié d'un laser XeCl, d'un système de transport par fibres optiques, d'une buse d'aspiration et d'un système permettant le contrôle en temps réel de la qualité du nettoyage.
Databáze: Supplemental Index