Autor:	Schmidt, M. T., Ma, Q. Y., Podlesnik, D. V., Osgood, R. M., Yang, E. S.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1989, Vol. 7 Issue 4, p980-985, 6p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu