Autor:	Groves, T. R., Pfeiffer, H. C., Newman, T. H., Hohn, F. J.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1988, Vol. 6 Issue 6, p2028-2032, 5p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu