Ein alternatives Verfahren zur Abscheidung von dünnen modifizierten Diamantschichten.
Autor: | Schubnov, Alexej, Vollertsen, Frank |
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Zdroj: | Vakuum in Forschung und Praxis; Apr2009, Vol. 21 Issue 2, p24-26, 3p |
Databáze: | Complementary Index |
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