MEMS 压阻式压力传感器梁-膜-三岛膜结构 设计与优化.

Autor: 郭 威, 李 辉, 罗登玲, 刘细辉, 邹 力, 李绍荣, 郭小伟, 唐普英
Zdroj: Journal of the University of Electronic Science & Technology of China; 2024, Vol. 53 Issue 6, p852-861, 10p
Databáze: Complementary Index