Enhanced High Power Impulse Magnetron Sputter Processes: The trick with the kick.

Autor:	Gaines, J. R.
Předmět:	MAGNETRON sputtering MAGNETRONS DIAMOND-like carbon THIN films ADATOMS
Zdroj:	Vakuum in Forschung und Praxis; Jun2023, Vol. 35 Issue 3, p38-43, 6p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text