ELECTRON BEAM MICROCOLUMNS FOR NANOLITHOGRAPHY.

Autor:	Chang, T. H. P., Thomson, M. G. R., Kratschmer, E., Kim, H. S., yu, M. L., Lee, K. Y., Rishton, S. A., Hussey, B. W., Zolgharnain, S.
Předmět:	ELECTRON beams ELECTRON-electron interactions NANOLITHOGRAPHY PHYSICS experiments SCHOTTKY barrier
Zdroj:	Quantum Devices & Circuits, Proceedings of the International Conference; 1996, p3-15, 13p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu