Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček.
Autor: | Dvořák, Jindřich |
---|---|
Další autoři: |
Kaiser, Jozef, 1974-
|
Jazyk: | čeština |
Předmět: | |
Druh dokumentu: | Non-fiction |
ISSN: | 0447-6441 |
Abstrakt: | Abstract: Článek prezentuje schopnosti rentgenové počítačové tomografie zobrazení vnitřní straktury elektronických součástek. Tomografická měření byla provedena na snímači otáček fungujícím na principu Hallovy sondy. Zkoumána vrstva s elektronikou ve snímači měla tloušťku v řádu jednotek mikrometrů. K zobrazení této vrstvy byl použit speciální nanoCT systém a nejmodernější průmyslový mikroCT systém. Provedené měření s vysokým rozlišením ukazuje požadavky na úpravu vzorku pro takové analýzy a výsledky demonstrují rozlišovací schopnosti obou systémů. |
Databáze: | Katalog Knihovny AV ČR |
Externí odkaz: |