Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček.

Autor: Dvořák, Jindřich
Další autoři:
Kaiser, Jozef, 1974-
Jazyk: čeština
Předmět:
Druh dokumentu: Non-fiction
ISSN: 0447-6441
Abstrakt: Abstract: Článek prezentuje schopnosti rentgenové počítačové tomografie zobrazení vnitřní straktury elektronických součástek. Tomografická měření byla provedena na snímači otáček fungujícím na principu Hallovy sondy. Zkoumána vrstva s elektronikou ve snímači měla tloušťku v řádu jednotek mikrometrů. K zobrazení této vrstvy byl použit speciální nanoCT systém a nejmodernější průmyslový mikroCT systém. Provedené měření s vysokým rozlišením ukazuje požadavky na úpravu vzorku pro takové analýzy a výsledky demonstrují rozlišovací schopnosti obou systémů.
Databáze: Katalog Knihovny AV ČR