| Abstrakt: |
Abstract: Problematika topografie ploch je již dlouhou dobu v popředí zájmu řady výzkumných a vývojových pracovišť, neboť oblast vědy a techniky vyžaduje stale přesnější a dokonalejší metody měření. Dosud využívané kontaktní metody jsou v řadě případů zcela nepoužitelné vzhledem k tomu, že při jejich aplikaci dochází k poškození měřeného povrchu a tím ke znehodnocení měřeného prvku (např. plochy čočky, křemíkových desek apod.). Velké úsilí je proto věnováno právě vývoji bezkontaktních metod, pracujících na různých fyzikálních principech. V článku je stručně popsána interference světla a některé algoritmy pro vyhodnocování interferenčního pole se současným uvedením aktuálních možností měřicích přístrojů renomovaných světových výrobců a příklady modelů, které jsou v dnešní době na trhu k dispozici. |
