化学机械抛光中摩擦润滑与化学行为研究进展.

Autor: 霍金向1,2,3 17800309312@163.com, 高宝红1,2,3, 李雯浩宇1,2,3, 贺斌1,2,3, 梁斌1,2,3, 刘鸣瑜1,2,3, 陈旭华1,2,3
Zdroj: Applied Chemical Industry. Jun2024, Vol. 53 Issue 6, p1416-1420. 5p.
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