Investigation of the Plasma-Chemical Synthesis of Thin Ga2O3 Films Doped with Zn in One Step in Plasma.
Autor: | Mochalov, L. A.1 (AUTHOR), Kudryashov, M. A.1 (AUTHOR), Prokhorov, I. O.1 (AUTHOR) igorprokhorov1998@yandex.ru, Vshivtsev, M. A.1 (AUTHOR), Kudryashova, Yu. P.1 (AUTHOR), Slapovskaya, E. A.1 (AUTHOR), Knyazev, A.V.1 (AUTHOR) |
---|---|
Zdroj: | High Energy Chemistry. Dec2023, Vol. 57 Issue 6, p509-514. 6p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |