High aspect ratio sapphire micromachining by ultraviolet laser‐induced plasma‐assisted ablation (LIPAA).
Autor: | Cole, Douglas F.1 (AUTHOR), Zednik, Ricardo J.1 (AUTHOR), Hof, Lucas A.1 (AUTHOR) lucas.hof@etsmtl.ca |
---|---|
Zdroj: | International Journal of Applied Ceramic Technology. Sep2023, Vol. 20 Issue 5, p3279-3286. 8p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |