Three-Dimensional Metal-Insulator-Metal Decoupling Capacitors with Optimized ZrO 2 ALD Properties for Improved Electrical and Reliability Parameters.

Autor:	Falidas, Konstantinos Efstathios1 (AUTHOR) konstantinos.efstathios.falidas@ipms.fraunhofer.de, Kühnel, Kati1 (AUTHOR), Rudolph, Matthias1 (AUTHOR), Everding, Maximilian B.1 (AUTHOR), Czernohorsky, Malte1 (AUTHOR), Heitmann, Johannes2 (AUTHOR)
Zdroj:	Materials (1996-1944). Dec2022, Vol. 15 Issue 23, p8325. 14p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.