Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"wires and devices"'
Autor:
Dirk König, Daniel Hiller, Noël Wilck, Birger Berghoff, Merlin Müller, Sangeeta Thakur, Giovanni Di Santo, Luca Petaccia, Joachim Mayer, Sean Smith, Joachim Knoch
Publikováno v:
Beilstein Journal of Nanotechnology, Vol 9, Iss 1, Pp 2255-2264 (2018)
Impurity doping of ultrasmall nanoscale (usn) silicon (Si) currently used in ultralarge scale integration (ULSI) faces serious miniaturization challenges below the 14 nm technology node such as dopant out-diffusion and inactivation by clustering in S
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/3bd003cc63f146c3a3bfcbbacadb1276
Autor:
Sangeeta Thakur, Luca Petaccia, Giovanni Di Santo, Daniel Hiller, Noël Wilck, Merlin Müller, Sean C. Smith, B. Berghoff, Dirk König, Joachim Mayer, Joachim Knoch
Publikováno v:
Beilstein Journal of Nanotechnology, Vol 9, Iss 1, Pp 2255-2264 (2018)
Beilstein Journal of Nanotechnology
Beilstein journal of nanotechnology 9, 2255-2264 (2018). doi:10.3762/bjnano.9.210
Beilstein Journal of Nanotechnology
Beilstein journal of nanotechnology 9, 2255-2264 (2018). doi:10.3762/bjnano.9.210
Beilstein journal of nanotechnology 9, 2255-2264 (2018). doi:10.3762/bjnano.9.210
Published by Beilstein-Institut zur Förderung der Chemischen Wissenschaften, Frankfurt, M.
Published by Beilstein-Institut zur Förderung der Chemischen Wissenschaften, Frankfurt, M.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.