Zobrazeno 1 - 10
of 29
pro vyhledávání: '"wafer scanners"'
Publikováno v:
CCTA 2021-5th IEEE Conference on Control Technology and Applications, 1179-1184
STARTPAGE=1179;ENDPAGE=1184;TITLE=CCTA 2021-5th IEEE Conference on Control Technology and Applications
STARTPAGE=1179;ENDPAGE=1184;TITLE=CCTA 2021-5th IEEE Conference on Control Technology and Applications
Hybrid integrator-gain systems (HIGS) are non-linear control elements that are designed to primarily operate as integrators in so-called integrator mode. Switching to gain mode occurs only when needed to keep sign equivalence between the input and ou
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::708ea1f7d7e66fee3e266c683a91da3c
https://doi.org/10.1109/ccta48906.2021.9658966
https://doi.org/10.1109/ccta48906.2021.9658966
Autor:
J. Simonelli, Y. Zhao, K.-T. Teng, Marcel François Heertjes, Nic Dirkx, Rahul Ahlawat, Kevin M. O'brien, S. H. van der Meulen, Hans Butler
Publikováno v:
ACC
2020 American Control Conference, ACC 2020, 3686-3703
STARTPAGE=3686;ENDPAGE=3703;TITLE=2020 American Control Conference, ACC 2020
2020 American Control Conference, ACC 2020, 3686-3703
STARTPAGE=3686;ENDPAGE=3703;TITLE=2020 American Control Conference, ACC 2020
In this tutorial paper, control design aspects of wafer scanners used in the semiconductor industry will be highlighted. At the same time, challenges for control design development as to meet the ever increasing demands on accuracy and speed are pres
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::c93e89e53f5cc6c9aecd8125fe34bd81
https://doi.org/10.23919/acc45564.2020.9147464
https://doi.org/10.23919/acc45564.2020.9147464
Autor:
N. van de Wouw, MF Marcel Heertjes, K.G.J. Gruntjens, S.J.L.M. van Loon, Wpmh Maurice Heemels
Publikováno v:
ACC
2019 American Control Conference, ACC 2019, 2408-2413
STARTPAGE=2408;ENDPAGE=2413;TITLE=2019 American Control Conference, ACC 2019
2019 American Control Conference, ACC 2019, 2408-2413
STARTPAGE=2408;ENDPAGE=2413;TITLE=2019 American Control Conference, ACC 2019
A hybrid integral controller with reset is proposed. This hybrid controller ensures improved low-frequency disturbance rejection properties under double integrator (PI2D) control without inducing the undesired increase of overshoot otherwise resultin
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3d3525cea85c7798fbdd37bb037c3bf3
https://doi.org/10.23919/acc.2019.8815268
https://doi.org/10.23919/acc.2019.8815268
Autor:
MF Marcel Heertjes
Publikováno v:
IFAC-PapersOnLine. 49:1-12
This paper gives an exposition of examples of data-based control and optimization that found their way to successful application in the motion systems of industrial wafer scanners. The examples represent selective works brought together in an overvie
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::31d65feb10a679e66e81739a49d4fccd
https://doi.org/10.1016/j.ifacol.2016.07.918
https://doi.org/10.1016/j.ifacol.2016.07.918
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2008 American Control Conference, ACC, 3011-3016
STARTPAGE=3011;ENDPAGE=3016;TITLE=2008 American Control Conference, ACC
ACC
STARTPAGE=3011;ENDPAGE=3016;TITLE=2008 American Control Conference, ACC
ACC
For MIMO motion systems, a data-based feedforward control is derived and implemented on a wafer stage of a wafer scanner. On the basis of a quadratic objective function related to a performance-relevant time-frame of the servo error signals, the coef
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::46fafd5e2b6942483ce94cb452bc7b36
http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=52449134896&partnerID=8YFLogxK
http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=52449134896&partnerID=8YFLogxK
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.