Zobrazeno 1 - 10
of 31
pro vyhledávání: '"van der Drift, Emile"'
Autor:
Roozeboom, Fred, Blauw, Michiel A., Lamy, Yann, van Grunsven, Eric, Dekkers, Wouter, Verhoeven, Jan F., van den Heuvel, Eric F., van der Drift, Emile, Kessels, Erwin W.M.M., van de Sanden, Richard M.C.M., Garrou, P., Bower, C., Ramm, P.
Publikováno v:
Handbook of 3D Integration
Handbook of 3D integration : technology and applications of 3D integrated circuits, 45-91
STARTPAGE=45;ENDPAGE=91;TITLE=Handbook of 3D integration : technology and applications of 3D integrated circuits
Handbook of 3D integration : technology and applications of 3D integrated circuits, 45-91
STARTPAGE=45;ENDPAGE=91;TITLE=Handbook of 3D integration : technology and applications of 3D integrated circuits
This chapter contains sections titled: • Introduction• DRIE Equipment and Characterization• DRIE Processing• Practical Solutions in Via Etching• Concluding Remarks• Appendix A: Glossary of Abbreviations• Appendix B: Examples of DRIE Rec
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3549660dcc088dfe89c90ffdc329d411
https://doi.org/10.1002/9783527623051.ch4
https://doi.org/10.1002/9783527623051.ch4
Autor:
Rong, Bifeng, van der Drift, Emile, van der Heijden, Rob W., Salemink, Huub W.M., Dobisz, Elizabeth A., Eldada, Louay A.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE, 2006 vol. 6327
Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices III
Nanoengineering
Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices III
Nanoengineering
We have developed a reliable process to fabricate high quality 2D air-hole and dielectric column InP photonic crystals with a high aspect ratio on a STS production tool using ICP N2+Cl2 plasma. The photonic crystals have a triangular lattice with lat
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::34b973fe31573782edb1cffb11e54028
https://doi.org/10.1117/12.680281
https://doi.org/10.1117/12.680281
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Nanofabrication; 2012, p93-116, 24p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Maas, Diederik J., van der Drift, Emile W., van Veldhoven, Emile, Meessen, Jeroen, Rudneva, Maria, Alkemade, Paul F. A.
Publikováno v:
MRS Online Proceedings Library; 2011, Vol. 1354 Issue 1, p1-14, 14p
Autor:
Kicken, Harm H. J. E., Barbu, Ionut, Kersten, Sander P., Dündar, Mehmet A., van der Heijden, Rob W., Karouta, Fouad, Nötzel, Richard, van der Drift, Emile, Salemink, Huub W. M.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72230C-72230C-10, 10p
Autor:
van der Heijden, Rob, Kjellander, Charlotte, Carlström, Carl-Fredrik, Snijders, Juri, van der Heijden, Rob W., Bastiaansen, Kees, Broer, Dick, Karouta, Fouad, Nötzel, Richard, van der Drift, Emile, Salemink, Huub W. M.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006, Issue 1, p618214-618214-7, 7p
Autor:
van der Heijden, Rob, Kjellander, Charlotte, Carlström, Carl-Fredrik, Snijders, Juri, Kicken, Harm, van der Heijden, Rob W., Bastiaansen, Cees, Broer, Dick, Karouta, Fouad, Nötzel, Richard, van der Drift, Emile, Salemink, Huub
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006, Issue 1, p632205-632205-8, 8p
Autor:
van der Heijden, Rob W., Andriesse, Mischa S. P., Carlstrom, Carl-Fredrik, van der Drift, Emile, Geluk, Erik-Jan, Karouta, A. F., Nouwens, Peter A., Oei, Y. Siang, de Vries, Tjibbe, Salemink, Huub W. M.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p523-532, 10p