Zobrazeno 1 - 10
of 26
pro vyhledávání: '"van Elzakker, G."'
Publikováno v:
In Applied Surface Science 2008 254(12):3690-3695
Publikováno v:
In Thin Solid Films 2008 516(20):6877-6881
Publikováno v:
In Thin Solid Films 2006 511:252-257
Autor:
de Ridder, R.M., Altena, G., Dijkstra, Mindert, Dekker, R., van Elzakker, G., Venhorst, G.C.F., Hoekstra, Hugo, Lambeck, Paul
Publikováno v:
ISSUE=8;STARTPAGE=25;ENDPAGE=28;TITLE=8th Annual Symposium IEEE/LEOS Benelux Chapter 2003
We report on 100nm thick free standing Silicon-nitride waveguide suspended in air used to detect MEMS movement by applying evanescent field sensing. We discuss both design and technolgical aspects for fabricating these decvces as well as experimental
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=narcis______::e2df392d8b84f1cff3b2812d304695d9
https://research.utwente.nl/en/publications/a499d0cc-f346-469b-b052-ace9601aa9be
https://research.utwente.nl/en/publications/a499d0cc-f346-469b-b052-ace9601aa9be
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.