Zobrazeno 1 - 10
of 49
pro vyhledávání: '"v-beam structure"'
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 15 August 2014 215:22-29
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical. 215:22-29
We report a silicon MEMS optical accelerometer based on the Fabry–Perot interferometer (FPI) principle in which the displacement of the proof mass is mechanically amplified by a V-beam structure prior to transduction. Mechanical amplification allow
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::aa2a9075cfa6226ee0fd20d358c6dcf0
https://doi.org/10.1016/j.sna.2013.08.002
https://doi.org/10.1016/j.sna.2013.08.002
Autor:
Wook-Bae Kim, Sol-Yi Han
Publikováno v:
Micromachines, Vol 11, Iss 2, p 155 (2020)
We present a novel fabrication technique of a miniaturized out-of-plane compliant bistable mechanism (OBM) by microinjection molding (MM) and assembling. OBMs are mostly in-plane monolithic devices containing delicate elastic elements fabricated in m
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/2493aa0df85047239b922023b2eefbf9
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
IEEE Transactions on Electron Devices; Dec2019, Vol. 66 Issue 12, p5295-5300, 6p
Publikováno v:
Journal of Physics: Conference Series; 2024, Vol. 2853 Issue 1, p1-8, 8p
Autor:
Barbin, Evgenii, Nesterenko, Tamara, Koleda, Aleksei, Shesterikov, Evgeniy, Kulinich, Ivan, Kokolov, Andrey
Publikováno v:
Micromachines; Apr2023, Vol. 14 Issue 4, p802, 22p
Publikováno v:
Micromachines; Jan2023, Vol. 14 Issue 1, p39, 13p
Publikováno v:
2013 IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); 1/ 1/2013, p609-612, 4p
Autor:
Rahimi, Mojtaba, Malekmohammad, Mohammad, Taghavi, Majid, Noori, Mohammad, Mohammad Parsanasab, Gholam-Mohammad
Publikováno v:
IEEE Sensors Journal; Aug2022, Vol. 22 Issue 15, p14779-14785, 7p