Zobrazeno 1 - 10
of 88
pro vyhledávání: '"tpos"'
Publikováno v:
Applied Sciences, Vol 14, Iss 18, p 8166 (2024)
This study investigates a hybrid microelectromechanical system (MEMS) acoustic resonator through a hybrid approach to combine capacitive and piezoelectric transduction mechanisms, thus harnessing the advantages of both transducer technologies within
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/9b747e2c70ac4229b1bd2df79b0806bb
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Micromachines, Vol 14, Iss 10, p 1965 (2023)
This article presents a new design of supporting tethers through the concept of force distribution. The transmitted force applied on tethers will be distributed on the new tether design area, resulting in low acoustic energy transferred to anchor bou
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/6ca2888a1db04035aa1dba7be65c4302
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Reem-Shape Phononic Crystal for Q Anchor Enhancement of Thin-Film-Piezoelectric-on-Si MEMS Resonator
Publikováno v:
Micromachines, Vol 14, Iss 8, p 1540 (2023)
This paper proposes a reem-shaped phononic crystal for the performance enhancement of TPoS resonators. The proposed phononic crystal offers an ultra-wide acoustic band gap that prevents energy leakage through the supporting substrate upon its placeme
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/7fa8c8c0d03546589d45ab24c5c785fa
Publikováno v:
IEEE Access, Vol 8, Pp 139266-139273 (2020)
This paper demonstrates how a single crystal silicon wafer can be used to fabricate thinfilm piezoelectric-on-silicon (TPoS) resonators by utilizing a modified version of Single Crystal Silicon Reactive Etch and Metallization (SCREAM) process. The de
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/7a7c4fe0b5bd4fd681644cafcc734354
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.