Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"submicronic patterns"'
Publikováno v:
Nonconventional Technologies Review, Vol 23, Iss 3 (2019)
The present article is based on the results of a project that had as main objective to achieve submicronic patterns using different lithography techniques - electron beam lithography and atomic force microscopy lithography. Ways to obtain these patte
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/e65ee8837326405199c3b690a21ba202
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.