Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"sub-sheet leakage"'
Publikováno v:
IEEE Access, Vol 8, Pp 35873-35881 (2020)
Excess source and drain (S/D) recess depth (TSD) variations were analyzed comprehensively as one of the most critical factors to DC/AC performances of sub 5-nm node Si-Nanosheet (NS) FETs for system-on-chip (SoC) applications. Variations of off-, on-
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/dd3149784d574df689e44143c42e1a3f
Publikováno v:
IEEE Access, Vol 8, Pp 35873-35881 (2020)
Excess source and drain (S/D) recess depth ( $T_{SD}$ ) variations were analyzed comprehensively as one of the most critical factors to DC/AC performances of sub 5-nm node Si-Nanosheet (NS) FETs for system-on-chip (SoC) applications. Variations of of
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.